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洁净室中的温湿度控制：

    洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。

    具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，济南GMP车间，这种车间不宜超过25度。

    湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，GMP车间装修，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产蕞佳温度范围为35—45%。

无尘车间装修四大要求

1、无尘车间装饰施工应于屋面防水工程和外围护结构完成，外门、外窗安装完毕，主体结构验收后进行，其内容包括室内装饰工程，门窗安装，缝隙密封，以及各种管线，照明灯具，GMP车间建造，净化空调设备，工艺设备等与建筑的结合部位缝隙的密封作业。

2、无尘车间装饰施工进度安排应与其他专业工种制订明确的施工协作计划，按程序施工，互相配合。

    无尘洁净棚又名净化洁净棚、百级洁净棚、千级洁净棚、万级洁净棚，为在乱流式之无尘车间空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用独立之HEPA或 ULPA及空调送风机组而成为较好洁净空间，内部空间高度在2.0米左右，覆盖面积约50m2以下，药物GMP车间建造，四支支柱可加装活动轮，可为弹性运用，可配套风淋室使用。

    无尘洁净棚材料：无尘洁净棚的框架一般有：不锈钢方通，铁方通，铝型材三种。无尘洁净棚顶部材料一般有：不锈钢板，冷轧钢板喷塑，防静电网格围帘，(防静电)亚克力板三种。洁净送风部分，一般选择FFU层流罩(FFU层流送风单元)无尘洁净棚的围护材料一般包括：防静电围帘，(防静电)亚克力板两种。

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